彩民心水论坛67177:一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統的軟件設計

來源:真空技術網(老钱心水论坛998009六合心水论 www.kzuqw.icu)鋼研納克檢測技術有限公司 作者:李凱

老钱心水论坛998009六合心水论 www.kzuqw.icu   結合上述系統結構圖,采用Keil C 軟件實現本測量和控制系統的功能。具體的軟件流程圖如圖7 所示。

一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統的軟件設計

圖7 軟件流程圖

  基本流程如下

  上電對AD 采集電路和CAN控制器等外設進行初始化,完成后進行規管判別,若是低規,直接啟動AD 轉換;若是高規,則需要在一定的真空級別下才能啟動,為此,根據低規的真空值來判別是否開啟高規,滿足真空值后開啟高規,進行AD 轉換。將AD 轉換的結果進行數據處理,并將結果分別通過CAN 通訊口和串口發送。CAN 通訊口一方面傳輸真空值至上位機;另一方面根據數據處理結果,將控制指令發送至其他單元或上位機,實現單元間的級聯控制和整機的流程控制。

  本文的控制主要包括兩個方面:一個是高真空規即潘寧規的自動開啟與關斷;另一個是儀器單元之間的級聯控制。

  1、高規的自動啟停

  由于潘寧規的測量范圍為100Pa~10-7 Pa,為此,潘寧規開啟的時候壓強值必須小于等于100Pa;同時, 當壓強值高于100Pa 時,必須關斷潘寧規以?;て洳皇芩鷙?。四極桿質譜儀的四極桿單元(即文中的腔室3)處于離子傳輸單元(即腔室2)之后,其真空值低于腔室2。

  針對以上特點,本文將腔室2 的真空值作為開啟與關斷潘寧規的條件,當檢測到腔室2的真空值低于5×10-2 Pa 時開啟潘寧規,當腔室2的真空值高于10-1 Pa 時關斷潘寧規,以此來?;づ四?。

  2、儀器單元間的級聯控制

  四極桿質譜儀在正常工作時,各腔室的真空度達到并穩定的控制在預定范圍內,而當有離子源熄火、真空泄露等異常出現時,需要進行錯誤報警并做出相應的處理以?;?a target="_blank" href="//www.kzuqw.icu/pumps/jixie/turbo-molecular-pump/">分子泵、電子倍增器、射頻電源等敏感設備。

  例如:在工作狀態時,當檢測腔室1 的真空度值高于500Pa 時,即視為有異常,本系統會向氣路單元、透鏡控制系統單元和射頻電源控制單元發出指令,關斷氣路、電子倍增器高壓和射頻電源以?;ひ瞧?另外,本系統會根據腔室2的真空值來控制分子泵單元的開啟與關斷。當腔室2 的真空值小于等于1Pa 時向分子泵單元發送指令啟動分子泵;當腔室2 的真空值大于1Pa時向分子泵單元發送指令關斷分子泵。

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